Triruthenium Dodecacarbonyl 트리루테늄 도데카카르보닐, Ru3(CO)12

트리루테늄 도데카카르보닐 Ru₃(CO)₁₂란?

트리루테늄 도데카카르보닐(Triruthenium Dodecacarbonyl, 화학식 Ru₃(CO)₁₂, CAS 번호 15243-33-1)은 루테늄 원자 세 개가 삼각형 클러스터를 이루는 유기금속 화합물입니다. 주황색 결정이며 분자량은 639.33 g/mol, 루테늄 함량은 최소 47%입니다.

반도체 공정에서 루테늄 박막 전구체로 이 화합물이 쓰이는 이유는 분해 산물이 깨끗하기 때문입니다. 리간드가 일산화탄소뿐이라 기체로 빠져나가고 금속만 남습니다. 염화물이나 산소를 포함한 전구체에서 생기는 잔류물 문제가 없습니다.

피지엠즈켐(PGMsChem)은 순도 ≥99.95% (Ru, trace metals basis, ICP) 등급의 Ru₃(CO)₁₂를 국내에서 직접 생산·공급합니다.

Ru₃(CO)₁₂는 어디에 사용되나요?

Ru₃(CO)₁₂는 박막 증착과 클러스터 촉매 양쪽에서 사용됩니다.

• Ru 박막 CVD/ALD: 반도체 배선 및 배리어층
• 클러스터 촉매: 다핵 금속 촉매 연구
• 하이드로포밀화: 카르보닐화 반응 촉매
• 유기금속 합성: Ru 착물의 출발물질

취급 시 주의할 점

금속 카르보닐 화합물이라 일반 시약과 다른 주의가 필요합니다.

• 일산화탄소 발생: 가열·분해 시 CO가 방출되므로 반드시 후드 내에서 취급
• 열 민감성: 약 150 °C에서 분해가 시작되므로 보관 시 열원을 피할 것
• 차광 보관: 빛에 의한 분해를 늦추기 위해 차광 용기 사용 권장

증착 공정에서는 승화 온도 관리가 재현성을 좌우합니다.

주요 사양

Ru₃(CO)₁₂는 주황색 결정으로, 분자량 639.33 g/mol, 루테늄 함량 최소 47%입니다. 약 150 °C에서 분해되며 물에 불용, THF·톨루엔·헥산에 용해됩니다. 보관은 밀봉·건조·차광 상태로 실온에서 합니다.

• 외관주황색 고체
• 화학식Ru₃(CO)₁₂
• 분자량639.33 g/mol
• 순도≥99.95% (Ru, trace metals basis, ICP)
• 루테늄 함량at min 47%
• 녹는점약 224 °C
• 용해도물에 불용, 유기용매에 용해
• 저장밀봉, 건조·암소 보관 권장 (광·열 노출 회피)

피지엠즈켐 Ru₃(CO)₁₂의 차별점

• 국내 직접 생산
• g 단위 소량 발주 가능 (MOQ 없음)
• CoA 제공, SDS 제공 가능
• 차광·불활성 포장 옵션

구매·견적은 어떻게 요청하나요?

수량·순도·포장 형태·희망 납기를 알려주시면 24시간 내 견적 회신드립니다.

• pro@pgmschem.com
• 032-569-1220 / 010-3322-2184
• 견적 문의 폼 →

자주 묻는 질문 (FAQ)

Q. 취급 시 특별한 주의가 필요한가요?
A. 금속 카르보닐 화합물이라 가열·분해 시 일산화탄소가 발생합니다. 반드시 후드 내에서 취급하시고 열원을 피해 보관하십시오.

Q. CVD 전구체로 쓸 때 장점은?
A. 리간드가 일산화탄소뿐이라 분해 시 기체로 빠져나가고 금속 루테늄만 남습니다. 염화물·산소계 전구체에서 생기는 잔류물 문제가 없습니다.

Q. 소량 구매와 CoA·SDS는 어떻게 되나요?
A. g 단위 소분 발송이 기본이며 kg 단위 대량 발주도 동일하게 처리합니다. CoA는 기본 제공, SDS는 요청 시 제공합니다.